+86-21-54286005 info@tenmed.net 中国 上海市 宝山区陆翔路111弄(绿地公园广场)1号楼602
语言: 中文

奥林巴斯测量显微镜STM7

无论样品大小、简单还是复杂,或执行测量的人员经验如何,奥林巴斯STM7系列可提供符合您需求的测量显微镜。

购买热线:+86-21-54286005

资源

STM7_宣传册-中文
STM7_宣传册-英文

可按照个人需求进行测量的
显微镜

无论样品大小、简单还是复杂,或执行测量的人员经验如何,奥林巴斯STM7系列可提供符合您需求的测量显微镜。

STM7

 

优异的光学性能

STM7系列采用了当前先进光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。
因此,观察到的图像具有高分辨率和高对比度,像差也被完全消除,以确保实现对微小细节的高精度测量。

 

花岗岩精制而成的载物台基座增强了测量的可靠性

为了进一步保证测量精度,STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性,使测量可到达亚微米水平,并大大降低误差。

STM7-LF FEM分析

STM7-LF FEM分析

 

简单易用的高精度3轴测量

随着现代制造技术日益小型化和精密化,高精度测量也日趋重要 — 不仅是XY轴平面的测量,Z轴方向的高精度测量也成为必须。为此,奥林巴斯开发了采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统。

3轴测量

 

可靠的模块化系统

 

五种配置让您可以灵活选择所需功能。

手动型号

 

电动型号

 

 

 

 

 

 

 

 

 

STM7-SF

 

STM7-MF

 

STM7-LF

 

STM7-MFA

 

STM7-LFA

STM7-SF

 

STM7-MF

 

STM7-LF

 

STM7-MFA

 

STM7-LFA
STM7-CS100
载物台:100 mm x 100 mm

 

STM7-CS200
载物台:200 mm x 200 mm

 

STM7-CS300
载物台:300 mm x 300 mm

 

STM7-CS200
载物台:200 mm x 200 mm

 

STM7-CS300
载物台:300 mm x 300 mm
STM7-CS100

 

STM7-CS200

 

STM7-CS300

 

STM7-CS200

 

STM7-CS300

 

 

STM7-SF STM7-MF STM7-LF STM7-MFA STM7-LFA
Z轴聚焦 手动 手动 电动
标准 明场或明场/暗场 明场或明场/暗场 明场或明场/暗场
选配 微分干涉对比度/偏振光 微分干涉对比度/偏振光 微分干涉对比度/偏振光
测量物镜
明场
选配 选配 选配
聚焦导航器
STM7-FN
选配 选配 选配
自动对焦单元
STM7-AF
选配
测量支持软件
STM7-BSW
选配 选配 选配
测量支持软件
(多图像拼接/MIA和景深扩展图像/EFI)
STM7-ASW-ME
选配 选配 选配

观察方法

BF:明场
DF:暗场
DIC:微分干涉对比度
POL:偏振光

选件:选件

 

适合您的样品的载物台

常见问题

  • 短测量行程无法满足较大样品的测量需求{• 由于X轴测量区域短于Y轴测量区域,因此必须旋转样品
  • 由于可测量的范围窄,无法将数量较多的样品排列在载物台上,以实现一次性同时测量

 

STM7解决方案

  • STM7提供300 mm x 300 mm载物台,能够测量较大的样品,包括300 mm晶圆和印刷电路板。
  • X轴和Y轴测量区域长度相等,因此无需旋转样品
  • 较长的X轴和Y轴测量区域允许在载物台上排列多个样品,实现更高效的测量

测量行程300 mm x 300 mm

提供三款具有不同测量行程的载物台供选择:100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的样品还是小的样品,总有一款载物台适合您的应用。

STM7-CS100

STM7-CS100
100 mm x 100 mm

STM7-CS200

STM7-CS200
200 mm x 200 mm

STM7-CS300

STM7-CS300
300 mm x 300 mm

 

更多倍率选择和长工作距离

常见问题

  • 大多数传统测量显微镜只能使用测量物镜或金相物镜,无法同时满足多种观察要求

STM7解决方案

  • STM7可满足多种观察要求。它不仅允许您根据自身的需求进行低倍率和高倍率观察、测量需要超长工作距离物镜的不均匀样品,甚至还能提供各种观察方法

测量物镜

由于测量物镜具有非常长的工作距离,因此在对表面起伏较大的样品进行聚焦时,无需担心物镜与样品之间发生接触。

此外,借助测量物镜的低倍率能力,可以一次观察到较大的区域。

测量物镜 

 

金相物镜

金相物镜可实现与光学显微镜相媲美的高倍率、高分辨率观察。

更重要的是,这些物镜还可用于明场、暗场和微分干涉对比度(DIC)观察。

明场图像 暗场图像

明场图像                                                     暗场图像

 

突破性的控制单元改进了可用性

常见问题

  • 增加功能时需要添置额外的操作单元。操作员可能无法快速找到相应的操作单元,这显著降低了测量效率
  • 操作单元过多及其分布在主机周围的电源会占用宝贵的工作空间

STM7解决方案

  • 几乎所有测量显微镜操作都可以在最近的操作单元上高效完成
  • 无论添加多少功能,系统只需要使用单一操作单元和电源,从而释放了工作空间

控制器

对于STM7系列,只需借助单一的控制器,就可以执行几乎所有的测量显微镜操作,包括读数重置、照明控制、调焦和自动聚焦等功能。为了提高效率和便利性,您可以将该装置放在任何想要放置的位置,并可以单手轻松操作。

 

用于手动Z轴调焦机型:STM7-HS手控开关               用于电动Z轴调焦机型:STM7-MCZ聚焦控制器

 

控制箱

各个单元的电源和通信都集成在单一控制箱中。即使是添加一些可选功能(如聚焦导航器等)也不需要增加额外的电源装置,这样的设计可以大大减少了对工作空间的占用。

 

手动和电动调焦选项

提供手动和电动调焦控制选项。您可以根据样品和测量内容选择符合您需求的机型,而不需要考虑载物台的尺寸 — 所有的镜架均内置Z轴线性标尺,可进行3轴测量。

手动Z轴调焦机型

电动Z轴调焦机型

手动Z轴调焦机型

手动机型性价比优越,对于需要测量

各种高度样品的用户而言,

只需通过熟悉的手柄操作

即可实现快速垂直移动。

电动Z轴调焦机型

电动装置可以大幅提高操作性,并减少因重复调焦和

高度测量而导致的操作疲劳。用于粗调和微调的同轴

旋钮设计使用户可以习惯的类似手动的方式进行操作,

且该机型还可以配备自动对焦单元。

 

自动光强调节
提高效率

常见问题

  • 传统测量显微镜使用的模拟量调节无法实现光强的定量评估,这可能导致测量值随光强的变化而变化
  • 使用传统测量显微镜时,每次切换物镜后可能都需要调节光强,从而导致工作流程效率低下

STM7解决方案

  • 由于显微镜提供光强值的定量显示,因此始终能在相同的条件下进行观察和测量
  • 将光强度管理器与编码物镜转换器搭配使用时,切换物镜后,照明方法和光强会自动调节为预设值

通过定量数字显示精确掌控光强值

STM7系列通过对光强的定量数字显示,保证了能在始终一致的照明条件下实施观察。

STM7系列通过对光强的定量数字显示

 

无需进行手动调节

光强度管理器可与编码物镜转换器配置组合使用。当您切换物镜时,编码物镜转换器会自动识别当前使用的物镜。因此,可为每个物镜记录照明方法和光强,并在测量期间于物镜切换后自动进行调节。像以前每次切换倍率后手动调节光强的操作,现在就可以省略了。

5倍强度50

5倍强度50

20倍强度70

20倍强度70

100倍强度120

100倍强度120

 

使用可拆卸数显表快速检查测量结果和设备状态

常见问题

  • 因需要检查设备运行状况(如照明)或查看不同单元上的测量值,这使得整体操作非常繁琐

STM7解决方案

  • STM7系列通过单独的指示器显示区显示显微镜状态(如照明)和测量值,有助于用户轻松完成所有检查

快速、直观地查看状态

指示器将显示设备状态和设置。X、Y和Z轴的最小单位可在0.1 μm和1 μm之间切换,还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。

安装在镜架上的数显表

安装在镜架上的数显表

 

可满足个性化需求自由放置的可拆卸数显表

无论是安装到镜架上还是放置在工作台上,可拆卸数显表的放置取决于用户个人。用户站着进行测量时,可以将数显表安装在与观察位置大致相同高度的镜架一侧,以便于查看。当用户通过数码相机在显示器上进行观察和测量,或使用电动Z轴调焦机型时,只需将数显表和手动控制器放在工作台上,即可轻松地坐在椅子上进行作业。

放置在工作台的数显表

 

实现更快、更简单、更精确的高度测量

常见问题

  • 进行目视测量时,不同操作员会测得不同的高度测量值。此外,这种测量方法非常耗时,效率低下。

STM7解决方案

  • STM7聚焦导航系统减少了操作员的主观性对高度测量的影响。它还可以缩短执行高度测量所需的时间,以实现更高的效率

简单、精确且具有卓越可重复性的聚焦系统

奥林巴斯的聚焦导航系统通过将图案投影在视场范围内,并由操作员确认上下图案的重合情况,可为高度测量操作带来高重现性。在常规目视观察下进行高度测量时,即使是看上去非常清晰的已经完全合焦的图像,也会出现微小误差。但使用聚焦导航系统时,只需匹配标记便可进行测量,因此减少了操作员的主观性对测量结果造成的影响。

聚焦系统

 

自动聚焦的优势成就快速、高精度的高度测量

常见问题

  • 进行目视测量时,不同操作员得出的高度测量结果也会不一样
  • 手动执行高度测量时,需要操作员反复移动载物台并使用手柄调焦,这使测量既耗时又低效
  • 很难对微小的物体聚焦,比如引线

STM7解决方案

  • 配备自动对焦单元,确保测量值始终高度精确,不受操作员的影响
  • 在“跟踪”模式下,图像自动持续对焦,从而在极短时间内实现高效的高度测量。同一模式的XY测量不需要手动对焦,因此提高了效率
  • 使用100倍物镜时,激光光斑直径可以小到1 μm,因此可以局部使用自动聚焦,即使是极微小的物体也适用

专用自动对焦单元:
出色的可重现性和聚焦速度

无论操作员的经验如何,使用STM7自动对焦单元均可以在很短的时间内实现高度精确的高度测量。即使是粗糙或倾斜的样品表面,利用主动反射、共聚焦方法都可以实现稳定对焦,而小直径的激光也能保证对微小物体,比如引线的自动聚焦。

单次对焦模式

跟踪模式

单次对焦模式

执行自动聚焦后,可瞬间完成从粗

略聚焦状态转为视场中心的清晰聚焦。

跟踪模式

启用跟踪模式后,会随样品表面的高低起伏

自动聚焦,即使在移动载物台的情况下,

也可以始终保持合焦状态。这使得操作员

在手不需要离开X和Y手柄的情况下也能实施观察,

从而极大地提高了Z轴的测量效率。

 

STM7规格(手动型号)

 

手动型号

 

小型载物台 中型载物台 大型载物台
显微镜主体

 

STM7-SF STM7-MF STM7-LF
聚焦 垂直移动范围 175 mm 145 mm
最大测量高度 120 mm(使用测量物镜)
175 mm(使用金相物镜)
90 mm(使用测量物镜)
145 mm(使用金相物镜)*1
Z轴测量分辨率 0.1 um
Z轴驱动方法 手动同轴微调焦/粗调焦旋钮
照明 LED 照明 白色:用于反射光照明,绿色:用于透射光照明
观察镜筒 MM6-ETR正像三目镜筒(100:0/0:100)
目镜(F.N.22) MM6-OCC10X(带十字线)、MM6-OC10X
物镜 BF(明场) MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物镜转换器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物镜
BF(明场)/DF(暗场) MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物镜转换器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物镜
LED 装置 白色(反射) MM6-ILW
绿色(透射) MM6-ILG
载物台

 

STM7-CS100 STM7-CS200 STM7-CS300
测量范围 X轴100 mm,Y轴100 mm X轴200 mm,Y轴200 mm X轴300 mm,Y轴300 mm
测量精度
(L:测量长度)
(3+2L/100) μm (3+4L/200) μm (3+6L/300) μm
精度保证重量 6 kg 10 kg 15 kg
计数器

 

STM7-DI
轴数 三轴
单位 毫米/微米/英寸/密耳
最低分辨率 0.1 um
控制箱 STM7-CB
手控开关 STM7-HS
聚焦控制器
接口线缆
防振基座 STM7-VI
电源线缆 UYCP
尺寸(宽x深x高)mm 466 x 583 x 651 606 x 762 x 651 804 x 1024 x 686
重量(kg) 84 kg 152 kg 277 kg
功耗 100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A

*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时,可将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。

 

物镜工作距离

物镜 1X 3X 5X 10X 20X 50X 100X
测量物镜 MM6-OB系列 59.6 76.8 65.4 50.5
金相物镜 MPLFLN系列 明场 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0
LMPLFLN系列 长工作距离 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4
MPLFLN-BD系列 明场/暗场 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0
LMPLFLN-BD系列 明场/暗场,长工作距离 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3

 

STM7-BSW系统要求

项目
CPU 对于STM7-CU相机,需要Intel Core i3处理器3 GHz或更高;对于DP23/DP28相机,需要Intel Core i5或同等或更高级别处理器
内存 对于STM7-CU相机,为4 GB或更高;对于DP23/DP28相机,至少需要8 GB,建议16 GB
硬盘可用空间 安装需要100 GB或更大硬盘空间,建议使用SSD硬盘以实现高速图像采集
显卡 支持分辨率1980 x 1080和32位色的显卡
驱动器 DVD驱动器
PC输入设备 2键鼠标(建议使用带滚轮的3键鼠标)、键盘
操作系统 Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations(64位)
网络浏览器 Internet Explorer 11

* 还支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。

 

STM7规格(电动型号)

 

电动型号

 

中型载物台 大型载物台
显微镜主体

 

STM7-MFA STM7-LFA
聚焦 垂直移动范围 175 mm 145 mm
最大测量高度 120 mm(使用测量物镜)
175 mm(使用金相物镜)
90 mm(使用测量物镜)
145 mm(使用金相物镜)*1
Z轴测量分辨率 0.1 um
Z轴驱动方法 电动
  • 聚焦按钮:粗调移动速度8 mm/s(最大值)
  • 微调焦/粗调焦旋钮:微调焦速度有4档可供选择(800 μm、400 μm、100 μm、50 μm)
照明 LED 照明 白色:用于反射光照明,绿色:用于透射光照明
观察镜筒 MM6-ETR正像三目镜筒(100:0/0:100)
目镜(F.N.22) MM6-OCC10X(带十字线)、MM6-OC10X
物镜 BF(明场) MM6C-KMAS
照明
U-5RES-ESD
物镜转换器
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金相物镜
BF(明场)/DF(暗场) MM6C-RLAS
照明
U-D5BDRES-ESD
物镜转换器
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金相物镜
LED 装置 白色(反射) MM6-ILW
绿色(透射) MM6-ILG
载物台

 

STM7-CS200 STM7-CS300
测量范围 X轴200 mm,Y轴200 mm X轴300 mm,Y轴300 mm
测量精度
(L:测量长度)
(3+4L/200) μm (3+6L/300) μm
精度保证重量 10 kg 15 kg
计数器

 

STM7-DI
轴数 三轴
单位 毫米/微米/英寸/密耳
最低分辨率 0.1 um
控制箱 STM7-CBA
手控开关
聚焦控制器 STM7-MCZ
接口线缆 U-IFCBL200 U-IFCBL200
防振基座 STM7-VI
电源线缆 UYCP
尺寸(宽x深x高)mm 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 844
重量(kg) 159 kg 284 kg
功耗 00-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A 100-120/220-240V  50/60Hz 0.6A/0.35A

*1 使用大型镜架STM7-LF/STM7-LFA时,可将高度为100 mm或以下的样品放置在光轴后方180 mm或以上距离的地方。

 

选件

物镜 测量物镜 MM6-OB系列
(1X /3X /5X /10X)
聚焦导航器 聚焦导航器装置 STM7-FN
绿光LED装置 MM6-ILG
自动聚焦 自动对焦单元 STM7-AF
微分干涉对比度 用于反射光的U-DICR DIC插槽 U-DICR
软件/相机*1 测量支持软件 STM7-BSW
相机 低端数码相机 STM7-CU
中端数码相机 DP23-CU
高端数码相机 DP28-CU
TV适配器 带0.5倍镜头的C型相机接口观察筒 U-TV0.5XC-3
带0.35倍镜头的C型相机接口观察筒 U-TV0/35XC-2
可旋转载物台 行程100 x 100 mm STM7-RS100
行程200 x 200 mm STM7-RS200
行程300 x 300 mm STM7-RS300
ND滤镜 ND滤镜(透射率6%) U-25ND6
ND滤镜(透射率25%) U-25ND25
微分干涉对比度 微分干涉对比度/偏振镜 U-PO3
微分干涉对比度/检偏镜 U-AN360-3
软件 MIA、EFI(可选软件) STM7-ASW-ME
脚踏开关 STM7-FS
电源装置 MM6-ILPS-2
载物台测微计 OB-M/OB-MM

*1 支持的相机因STM7-BSW版本而异。
1.3.3版或更早版本:STM7-CU
1.4.1版或更新版本:DP23/DP28

选择您的地区和语言

产品和促销活动可能因您选择的地区而异。